国产28nm光刻机产业链上市公司龙头股有哪些？国产28nm光刻机产业链上市公司龙头股名单一览表

国产28nm光刻机产业链上市公司龙头股：张江高科、福晶科技、茂来光学、苏大维格、上海新阳

国产28nm光刻机产业链上市公司龙头股名单一览表

一、张江高科

（国产28nm光刻机产业链上市公司龙头股）参股上海微电子+光刻机+张江科学城+创投

1、网络传闻上海微电子和HW在28纳米DUV研发方面已取得了重大进展，公司间接持有上海微电子14.21%股权。

2、公司旗下微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。在先进封装光刻机等领域，其国内市场占有率超过80%，全球市场占有率为40%。

3、公司是张江科学城开发建设主力军之一，张江科学城已建立起以信息技术、生物医药、文化创意为主导产业，以人工智能、航空航天、低碳环保为新兴产业的“三大、三新”产业格局，主营业务以科学城物业的开发运营、科技创新企业的投资、服务及孵化为主。

4、23年3月4日公告，2022年公司营收19.07亿元，同比下降9.08%；归母净利润8.22亿元，同比增加11.02%。22年11月26日公告，公司以及上汽集团拟与恒旭资本共同出资设立上海元界智能，专项投资于上汽集团自主高端智能纯电汽车项目。

二、福晶科技

（国产28nm光刻机产业链上市公司龙头股）光刻光源+光通讯+激光雷达

1、光刻机需要用到大量高性能要求光学元件，公司具备精密光学元件供应能力，且积极扩产应对医疗、激光雷达、AR/VR、光刻机等高成长应用带来的需求；公司收入约50%来自晶体材料，其中约10-20%收入来自光通信，主要客户Lumentum。

2、公司曾通过欧洲代理向ASML提供极其少量光学元件，控股61%的子公司福创光电开展衍射光学元件研究、生产，衍射光学元件是光刻机中一系列可动的镜片，主要用于产生光刻所需要的光源。

3、公司是业内少数能够为激光客户提供晶体、光学、器件产品一站式综合服务的供应商。公司在激光雷达，半导体设备领域配合国内头部厂商进行光学元件的开发。公司LBO、BBO全球市占率约80%，是国内少数能够为激光客户提供“ 晶体+光学元件+激光器件”一站式综合服务的供应商。

三、茂来光学

四、苏大维格

（国产28nm光刻机产业链上市公司龙头股）光伏电池铜电镀+光刻机+反光材料

1、公司掩膜板+曝光方案比LDI方案效率更高，理论效率可以做到LDI方案的两倍。曝光机为铜电镀价值量最高的设备，HJT设备龙头公司明年中试线将采用掩膜曝光方案，成立合资公司深度合作，单GW价值量超过3000万，对应25年市场空间30亿，给予30%净利率和50%份额，对应5亿利润。公司产品已出货其他铜电镀客户，明年GW级订单有望落地。

2、公司激光转印设备进展不慢于帝尔激光，且纳米压延技术精度更高，可将栅线做得更为整齐，目前在润阳进行中试。激光转印设备大概6000万/GW，25年350GW假设1/3使用激光转印，20%份额+20%净利润率对应2.8亿利润。

3、近期传闻荷兰光刻机巨头阿斯麦将对国内光刻机供应限制，公司在光刻领域有着很深的积累，一旦阿斯麦对国内光刻机限制出口，苏大维格的光刻技术可以转移至华为等产线。

4、公司推出了公共安全材料、新型印刷材料、导光材料、柔性透明导电膜、中大尺寸电容触控模组和特种装饰膜等产品，并在积极布局 TOF/DOE、VR/AR、太阳能光伏电池铜电镀方案与金属电极膜等领域的产品和产业化应用。

5、公司通过外延式并购收购了华日升，进入反光材料与反光制品领域，主营各个等级和规格反光膜、发光膜、反光布以及多种反光制品。

五、上海新阳

（国产28nm光刻机产业链上市公司龙头股）光刻胶产品+芯片

1、公司目前只生产光刻胶产品，相关原材料还需采购。公司投资设立控股子公司上海芯刻微材料进行193nm（ArF）干法光刻胶研发及产业化项目。

2、公司主营集成电路制造及先进封装用关键工艺材料及配套设备的研发、生产、销售和服务，并为客户提供整体化解决方案；环保型、功能性涂料的研发、生产及相关服务业务，并为客户提供专业的整体涂装业务解决方案。

3、晶圆制造及先进封装用电镀液和添加剂系列产品为公司面向芯片制造领域开发的第二代电子电镀产品。主要包括大马士革铜互连、TSV、Bumping 电镀液及配套添加剂。

4、公司化学机械研磨液主要是氧化硅和氧化铈基的研磨液，包括适用于浅槽隔离（STI）、介质层、钨、铜以及铜阻挡层抛光液的系列产品，可覆盖 14nm 及以上技术节点。

5、集成电路制造用高端光刻胶产品正在开发中，包括逻辑和模拟芯片制造用的 I 线光刻胶、KrF 光刻胶、ArF 干法光刻胶，存储芯片制造用的 KrF 厚膜光刻胶，底部抗反射膜（BARC）等配套材料。