国内半导体设备生产上市公司龙头股有哪些？国内半导体设备生产上市公司龙头股名单一览表

国内半导体设备生产上市公司龙头股：北方华创、中微公司、张江高科、拓荆科技、盛美上海、华海清科、芯源微、华峰测控

国内半导体设备生产上市公司龙头股名单一览表

一、北方华创

（国内半导体设备生产上市公司龙头股）拟投建半导体晶体项目+单晶硅炉+次新股

1、2023年5月15日盘后公告，公司拟与南京浦口经济开发区管理委员会签署项目投资协议，拟设立全资子公司南京晶采半导体，在浦口经济开发区投资南京晶升浦口半导体晶体生长设备生产及实验项目。预计投资总额为1亿元。

2、公司主营6-8英寸碳化硅单晶炉、8-12英寸半导体级单晶炉等长晶设备，已成功与沪硅产业（上海新昇）、立昂微（金瑞泓）、三安光电、东尼电子等国内头部客户实现绑定。

3、其中12英寸半导体级单晶硅炉国内领先厂商，该领域国产化率为30%，公司的市占率达到9.01%-15.63%，与沪硅产业、立昂微等主要下游供应商达成良好合作。

4、公司是碳化硅单晶炉国内主要供应商之一，公司预计市占率约为27.47%-29.01%，仅次于北方华创，为三安光电核心供应商。此外，公司已完成对天岳先进的首台套产品销售及验证。

二、中微公司

（国内半导体设备生产上市公司龙头股）半导体质量控制设备

1、主营业务：

公司是国内领先的高端半导体质量控制设备公司，专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。

2、核心亮点：

（1）公司产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

（2）公司已成为半导体量检测设备国产龙头，2018年国内市占率仅为0.35%，2020年国内市占率达到1.74%，远高于其他国产厂商。

（3）公司持续拓宽产品线，目前新设备晶圆金属薄膜量测设备已处于产业化验证阶段，纳米图形晶圆缺陷检测设备（质量检测设备份额最高的品类，达24.7%）已在设计中，上述产品研发成功后，公司产品品类对应市场份额将提升至52.4%。另有用于1Xnm产线的SPRUCE900型号无图形晶圆缺陷检测设备在研发中。

（4）公司攻克了多项设备关键模块自主化开发难题，目前已形成深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷识别算法技术等9项核心技术。

（5）公司产品已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线，打破在质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。

3、行业概况：

全球半导体检测和量测设备市场规模高速增长，2016年至2020年市场规模年均复合增长率为12.6%，其中2020年全球市场规模达到76.5亿美元，同比增长20.1%。国内半导体检测与量测设备的国产化率仅2%，有望在未来几年加速提升。

4、可比公司：中微公司、芯源股份、盛美上海、华海清科、华峰测控。

5、数据一览：

（1）公司2020-2022年分别实现营业收入2.38、3.61、5.09亿元，三年复合增速108.75%；归母净利润0.40、0.53、0.12亿元。发行价格23.60元/股，行业PE32.83，发行流通市值18.88亿，市值75.52亿。

（部分资料来自公司招股说明书、华金证券、申万宏源等）

三、张江高科

（国内半导体设备生产上市公司龙头股）参股上海微电子+光刻机+张江科学城+创投

1、网络传闻上海微电子和HW在28纳米DUV研发方面已取得了重大进展，公司间接持有上海微电子14.21%股权。

2、公司旗下微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。在先进封装光刻机等领域，其国内市场占有率超过80%，全球市场占有率为40%。

3、公司是张江科学城开发建设主力军之一，张江科学城已建立起以信息技术、生物医药、文化创意为主导产业，以人工智能、航空航天、低碳环保为新兴产业的“三大、三新”产业格局，主营业务以科学城物业的开发运营、科技创新企业的投资、服务及孵化为主。

4、23年3月4日公告，2022年公司营收19.07亿元，同比下降9.08%；归母净利润8.22亿元，同比增加11.02%。22年11月26日公告，公司以及上汽集团拟与恒旭资本共同出资设立上海元界智能，专项投资于上汽集团自主高端智能纯电汽车项目。

四、拓荆科技

（国内半导体设备生产上市公司龙头股）半导体薄膜沉积设备+ PECVD

1、公司主要从事半导体薄膜沉积设备，主产品包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层沉积(ALD)设备和次常压化学气相沉积(SACVD)设备三个产品系列,已广泛应用于国内晶圆厂14nm及以上制程集成电路制造产线,并已展开10nm及以下制程产品验证测试。

2、公司是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD设备厂商，已配适180-14nm逻辑芯片、19/17nmDRAM及64/128层FLASH制造工艺需求，产品能够兼容多种反应材料。

3、公司供应中芯国际、华虹集团等国内主流晶圆厂产线。公司拟投资7.5亿，用于高端半导体设备扩产项目、先进半导体设备的技术研发与改进项目、ALD设备研发与产业化项目。

五、盛美上海

（国内半导体设备生产上市公司龙头股）半导体质量控制设备

1、主营业务：

公司是国内领先的高端半导体质量控制设备公司，专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。

2、核心亮点：

（1）公司产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

（2）公司已成为半导体量检测设备国产龙头，2018年国内市占率仅为0.35%，2020年国内市占率达到1.74%，远高于其他国产厂商。

（3）公司持续拓宽产品线，目前新设备晶圆金属薄膜量测设备已处于产业化验证阶段，纳米图形晶圆缺陷检测设备（质量检测设备份额最高的品类，达24.7%）已在设计中，上述产品研发成功后，公司产品品类对应市场份额将提升至52.4%。另有用于1Xnm产线的SPRUCE900型号无图形晶圆缺陷检测设备在研发中。

（4）公司攻克了多项设备关键模块自主化开发难题，目前已形成深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷识别算法技术等9项核心技术。

（5）公司产品已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线，打破在质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。

3、行业概况：

全球半导体检测和量测设备市场规模高速增长，2016年至2020年市场规模年均复合增长率为12.6%，其中2020年全球市场规模达到76.5亿美元，同比增长20.1%。国内半导体检测与量测设备的国产化率仅2%，有望在未来几年加速提升。

4、可比公司：中微公司、芯源股份、盛美上海、华海清科、华峰测控。

5、数据一览：

（1）公司2020-2022年分别实现营业收入2.38、3.61、5.09亿元，三年复合增速108.75%；归母净利润0.40、0.53、0.12亿元。发行价格23.60元/股，行业PE32.83，发行流通市值18.88亿，市值75.52亿。

（部分资料来自公司招股说明书、华金证券、申万宏源等）

六、华海清科

（国内半导体设备生产上市公司龙头股）半导体质量控制设备

1、主营业务：

公司是国内领先的高端半导体质量控制设备公司，专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。

2、核心亮点：

（1）公司产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

（2）公司已成为半导体量检测设备国产龙头，2018年国内市占率仅为0.35%，2020年国内市占率达到1.74%，远高于其他国产厂商。

（3）公司持续拓宽产品线，目前新设备晶圆金属薄膜量测设备已处于产业化验证阶段，纳米图形晶圆缺陷检测设备（质量检测设备份额最高的品类，达24.7%）已在设计中，上述产品研发成功后，公司产品品类对应市场份额将提升至52.4%。另有用于1Xnm产线的SPRUCE900型号无图形晶圆缺陷检测设备在研发中。

（4）公司攻克了多项设备关键模块自主化开发难题，目前已形成深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷识别算法技术等9项核心技术。

（5）公司产品已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线，打破在质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。

3、行业概况：

全球半导体检测和量测设备市场规模高速增长，2016年至2020年市场规模年均复合增长率为12.6%，其中2020年全球市场规模达到76.5亿美元，同比增长20.1%。国内半导体检测与量测设备的国产化率仅2%，有望在未来几年加速提升。

4、可比公司：中微公司、芯源股份、盛美上海、华海清科、华峰测控。

5、数据一览：

（1）公司2020-2022年分别实现营业收入2.38、3.61、5.09亿元，三年复合增速108.75%；归母净利润0.40、0.53、0.12亿元。发行价格23.60元/股，行业PE32.83，发行流通市值18.88亿，市值75.52亿。

（部分资料来自公司招股说明书、华金证券、申万宏源等）

七、芯源微

（国内半导体设备生产上市公司龙头股）光刻工序涂胶显影设备+单片式湿法设备

1、23年4月19日讯，根据光刻巨头ASML财报，升级版1980i浸没式光刻机可继续供货大陆，可通过多重曝光技术兼容14nm工艺，短期光刻机制约基本消除；公司是国内唯一能提供中高端涂胶显影设备（收入占比61.09%）的龙头企业，前道领域涂胶显影设备已陆续向上海华力、中芯北方等客户导入验证及量产。

2、公司前道涂胶显影设备中I-line产品已通过部分客户验证并开始放量，KrF产品在客户端验证顺利。

3、公司已获得专精特新小巨人称号，涂胶显影设备从LED领域到集成电路后道先进封装领域实现国产化，关键技术比肩国际龙头。

4、公司前道清洗设备已实现小批量供货，SpinScrubber清洗机设备已通过工艺验证。

八、华峰测控

（国内半导体设备生产上市公司龙头股）半导体质量控制设备

1、主营业务：

公司是国内领先的高端半导体质量控制设备公司，专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。

2、核心亮点：

（1）公司产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

（2）公司已成为半导体量检测设备国产龙头，2018年国内市占率仅为0.35%，2020年国内市占率达到1.74%，远高于其他国产厂商。

（3）公司持续拓宽产品线，目前新设备晶圆金属薄膜量测设备已处于产业化验证阶段，纳米图形晶圆缺陷检测设备（质量检测设备份额最高的品类，达24.7%）已在设计中，上述产品研发成功后，公司产品品类对应市场份额将提升至52.4%。另有用于1Xnm产线的SPRUCE900型号无图形晶圆缺陷检测设备在研发中。

（4）公司攻克了多项设备关键模块自主化开发难题，目前已形成深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷识别算法技术等9项核心技术。

（5）公司产品已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线，打破在质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。

3、行业概况：

全球半导体检测和量测设备市场规模高速增长，2016年至2020年市场规模年均复合增长率为12.6%，其中2020年全球市场规模达到76.5亿美元，同比增长20.1%。国内半导体检测与量测设备的国产化率仅2%，有望在未来几年加速提升。

4、可比公司：中微公司、芯源股份、盛美上海、华海清科、华峰测控。

5、数据一览：

（1）公司2020-2022年分别实现营业收入2.38、3.61、5.09亿元，三年复合增速108.75%；归母净利润0.40、0.53、0.12亿元。发行价格23.60元/股，行业PE32.83，发行流通市值18.88亿，市值75.52亿。

（部分资料来自公司招股说明书、华金证券、申万宏源等）